SEMI 3 loop 1.0 TIXING_UPCOS 161 161 160 0.5 30.002 1e-6,1e-9 1e-6,1e-9 1.0e-2 1.0e-7 3500000 2 0.5,1 HE 1 66,96 0.01 6 1,161 1,161 1,80 1e-4 1,161 1,161 80,81 0.002 1,161 1,161 81,83 0.0033 76,86 76,86 86,92 0.02 76,86 76,86 82,98 0.033 76,86 76,86 98,106 0.05