SEMI 3 161,161,160 0.5 0.01 6 1,161 1,161 1,80 1e-4 1,161 1,161 80,81 0.002 1,161 1,161 81,83 0.0033 76,86 76,86 86,92 0.02 76,86 76,86 92,98 0.033 76,86 76,86 98,106 0.05 3500000 30.002 1e-6,1e-9 10000e-6 1e-6,1e-9 1e-7 1 2 0.5,1 TIXING_UPCOS HE 1 66,96